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Letzte Aktualisierung: 20 Feb. 2024

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Hinweise

  1. Die Klassifizierung (2*) für film-on-glass Fotomasken unterscheidet sich überlicherweise von der chrome-on-glass. Die technischen Daten finden Sie in der Tabelle auf der nächsten Seite.
  2. Download CoC Format Pattern facsimile
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Technische Dokumente

Product user guide
CoC Format

Die Größenabweichung der Pattern kann wie nachstehend dargestellt berechnet werden:

`Maßtoleranz = ± (A + B * C)`

Beispiel für eine Größenabweichung für ein Klasse-2-Pattern auf einer Länge von 10 mm:

Maßtoleranz = ± 0.0016mm + (±0.000008mm x 10 mm) = ± 0.00168 mm

Für Chrome auf Glas Photomasken
KlassifizierungMin herstellbare dimensionen; Min Abstand(µm)Positionierungsfehler (µm)Geschwindigkeitsfaktor (µm/mm)
11.46.40.016
20.81.60.008
30.40.60.004
40.20.20.001
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For Film Photomask
KlassifizierungMin herstellbare dimensionen; Min Abstand(µm)Positionierungsfehler (µm)Geschwindigkeitsfaktor (µm/mm)
19.69.60.015
24.89.60.015
32.49.60.015
41.29.60.015
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